目前为止，我们讨论了滤光片的直接可测量的光学性能，但是仍有一些物体的自然属性相当难以测量，这些与薄膜和基底的质量和加工有关。对于任何光学组件，基底都是会被详细描述的，如表面的面形、抛光程度和允许的玷污、光洁度等，这里我们不应该进一步考虑基底。有一个指标MIL-E13830A，特别是在美国被广泛应用，这为包括基底在内的光学元件提供了一套有效的标准。
镀膜的质量可以通过是否存在缺陷来衡量，如针孔、污点、溅射标记及未镀膜区域。针孔的重要性主要有两个原因。
**，他们实际上时很小的未镀膜区域或者部分未镀膜区域，这些区域将会使额外的光透射截止区，从而降低滤光片的整体性能。
第二，特别是对于可见光区的滤光片，这些不足会影响整体的美观。实际上，与它们在实际中对性能的影响相比，它们使外观看起来更糟。除了单纯的外观判断，我们可以根据一定尺寸单位面积上给定的**数值来确定针孔的允许大小，这个**数值是通过计算滤光片的截止度降低到一个给定数值时的针孔数目。
为了计算这一数值，必须对将会随时用到的滤光片的**小面积进行假定。这主要取决于实际应用，但是当在这一方面缺少明确的信息时，合适的数值是5mm×5mm。很明显，这一面积越小，**针孔的数目便越小。当然，在任何滤光片中，针孔的实际计算将涉及高昂的劳动量，在实际中将滤光片与参考样品相比较，对于可见光滤光片进行测量常常是视觉上的。
一个含有灯箱的简单固定支架可以很容易的搭建起来，在其上面放置很多滤光片，可以和参考样品比较判断是否符合要求。对于透明基底上的红外滤光片，这一方法仍然可以使用，但是对于在不透明的基底上的滤光片，则更易的是测量其实际的截止性能。溅射痕迹是由蒸发源喷出的材料碎片造成的。
一般而言，它对光学性能几乎没有影响，除非数量巨大。一个重要风险是材料碎片可能掉落而出现针孔。有时溅射过程可能会引起节瘤的增长从而带来相关问题，或者如果**的溅射碎屑存在，散射损耗可能会增加。就像控制针孔一样，这种情况是可以控制的，但是因为镜面反射光学性能几乎不会被影响到，除非溅射痕迹的数量非常大，决定允许值的方式常常是主观的。如果溅射产生了针孔，这些针孔将单独处理。
通常指标中会陈述：无裸眼可见的溅射痕迹，但是这种描述非常模糊，特别是当检查员没有光学经验时。当用户的检查员用镜片来辅助裸眼进行观测时，用户和***之间的分歧会产生。当它能够像测试针孔一样采用同样**的方法时，**的用途是将测试与双方商定的参考样品相关联。
